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News: 01/27/2016

MEMS based Thermal Mass Flow Technology

MEMS Based design

Axetris uses proprietary MEMS-based thermal mass flow measurement technology to design its range of mass flow solutions. The temperature differential of a miniscule sample of the gas is measured during flow across a MEMS chip (see picture).

The temperature differential thus measured results in a mass flow measurement that is the building block to a superior mass flow product. Compared with a conventional design, the MEMS-based solutions from Axetris signify a quantum leap in mass flow performance. World-class fluid engineering and smart software design further enhance the advantages inherent to the MEMS thermal mass flow technology.

The MEMS-based design of Axetris mass flow products translates into substantial advantages* for OEM customers:

High Accuracy  upto 0.2% Full Scale (F.S.) 
 High Repeatability  upto 0.15% Of Reading (O.R.)

 Excellent Turn-Down

 Ratio

 at least 1000:1
 Low Flow Capability  Minimum Flow 0.02 sccm
 Quick Settling time 150 ms (Settling Time for Controller)
 Negligible Drift  Practically no re-calibration required
 Miniature Size

 Some of the smallest mass flow controllers in the

 world!

* Standard values, please consult product datasheet for exact values, or contact your Axetris sales representative to discuss your application requirements        


Read more about MEMS-based Mass Flow Meters and Controllers from Axetris.

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